實驗室用氣體流量計：最全分類解析及應用場景詳解
2025-09-24
這里為您提供一份簡潔明了的實驗室用氣體流量計分類解析及應用指南。
一、 核心分類（按測量原理）
實驗室氣體流量計主要分為兩大類：體積流量計和質量流量計。
| 分類 | 工作原理 | 優(yōu)點 | 缺點 | 典型應用場景 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 質量流量計 (MFM) |
直接測量單位時間內流過氣體的質量。 核心原理是流體流經被加熱的管道時， |
讀數直接（如 sccm, slm），不受溫度、壓力影響， 精度高，響應快。 |
價格相對較高；對氣體潔凈度有要求。 | 化學反應（如CVD、MOCVD）、細胞培養(yǎng)、 氣相色譜載氣控制、需要精確配氣的任何場景。 |
| 2. 體積流量計 | 測量單位時間內流過氣體的體積。 | 結構簡單，成本較低。 | 讀數受環(huán)境溫度、壓力影響，需要換算才能得到標準狀態(tài)下的流量。 | |
| 2.1 轉子流量計 | 基于浮子在垂直錐形管中旋轉上升的高度來測量流量。 | 價格低廉，結構簡單直觀，無需電源。 | 精度較低，需垂直安裝，對振動敏感。 | 教學演示、氣體粗略分配、通風櫥氣路指示。 |
| 2.2 皂膜流量計 | 通過測量皂膜在標準玻璃管內移動一定體積所需的時間來計算流量。 | 實驗室基準儀器，精度極高，常用于校準其他流量計。 | 無法連續(xù)測量，操作繁瑣，為手動測量設備。 | 流量計校準、低流量的精確測量和驗證。 |
| 2.3 渦街流量計 | 流體流過漩渦發(fā)生體時產生交替的漩渦，通過測量漩渦頻率計算流量。 | 量程寬，穩(wěn)定性好，無活動部件。 | 對振動敏感，低流速測量效果不佳。 | 實驗室中型氣源總管路的流量監(jiān)測。 |
二、 特殊類型：質量流量控制器 (MFC)
這是實驗室最常用、最重要的控制型流量計。它在質量流量計 (MFM) 的基礎上，增加了一個自動控制閥和一個閉環(huán)控制系統。
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功能：不僅能測量實時流量，更能根據用戶的設定值，自動、精確地控制閥門開度，使實際流量穩(wěn)定在設定值。
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應用：凡是需要精確、穩(wěn)定、可編程控制氣體流量的場景，幾乎都使用MFC。 例如：
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半導體工藝設備（CVD, PECVD, Etching）
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催化劑評價裝置
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燃料電池測試系統
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任何需要多種氣體按比例精確混合的實驗。
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三、 應用場景快速選擇指南
| 實驗需求 | 推薦首選類型 | 關鍵考量 |
|---|---|---|
| 精確控制反應氣體流量（如合成、沉積） | 質量流量控制器 (MFC) |
精度、重復性、控制穩(wěn)定性、耐腐蝕性 （根據氣體選擇材質）。 |
| 監(jiān)測或控制細胞培養(yǎng)箱內的CO?濃度 |
質量流量控制器 (MFC) 或 熱式質量流量計 (MFM) |
小流量下的精確性和穩(wěn)定性。 |
| 校準其他流量計 | 皂膜流量計 | 作為基準，追求最高絕對精度。 |
| 教學實驗、粗略觀察氣流 | 轉子流量計 | 成本、直觀性。 |
| 監(jiān)測壓縮空氣或氮氣總管的消耗量 | 渦街流量計 | 中等流量范圍，耐用性。 |
| 僅需知道瞬時流量，無需控制 | 熱式質量流量計 (MFM) | 讀數直接，精度高于轉子流量計。 |
總結
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要精確控制，選MFC（質量流量控制器）。
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要高精度測量（不控制），選MFM（質量流量計）。
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要低成本、粗略指示，選轉子流量計。
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要校準或獲得基準值，選皂膜流量計。
希望這份簡潔的分類解析能幫助您快速選擇合適的實驗室氣體流量計。如想了解更多流量計相關信息或者流量計選型，可咨詢艾絲特流量計廠家技術客服：180 1926 2426（微信同號）獲取幫助。
